近日，声光电子集团成功打通热电堆红外温度传感器芯片产业化瓶颈，产能大幅提高，为全球疫情防控贡献电科力量。　　


　　自疫情以来，声光电子集团一直致力于各类防疫控疫基础器件的研究和开发。春节期间，下属航伟公司加班加点满足基础防控物资核心元器件热电堆红外温度传感器的批量供应，用24小时不停线的工作模式来弥补有限产能瓶颈。但疫情爆发突然，热电堆红外测温芯片受个别工艺及设备限制，短期内产能难以突破。

　　面对疫情的全球性扩散形势，热电堆红外温度传感器芯片需求紧张，声光电子集团立即组织微电子、微声电子及光电子技术专家研究分析产能瓶颈及工艺能力提升措施，充分利用一切条件，协同全产业链资源，优化工艺技术路径，最大限度扩充芯片产能，并结合器件封装，形成高性价比的产品投放市场，有效填补了国内外市场缺口。通过对MEMS结构释放背腔刻蚀、激光划片等工艺路径开展专项技术攻关，对核心工艺设备进行优化升级改造，经过多次试验，工艺技术攻关取得重大突破，最终实现了热电堆红外温度传感器芯片产能大幅提高。