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电子品质提升案例集 | 精细稳定的温度控制,助力品质、产能双提升
Components
高级温控(多点设备整合)方案
多点化温控,提升微细加工的生产品质,同时保持设备紧凑
课 题
半导体逐渐微细化/积层化,生产流程也随之逐渐复杂,温度控制的重要性与日俱增。尤其是即使细微的温度偏差和波动也会影响品质,因此最小化温度控制幅度至关重要。
此外,由于精度提高,设备内的温度控制区域数量不断增加,为确保设备占地面积保持不变,必须在控制柜内的有限设备空间中高效配置,兼顾生产品质和空间效率成为一大课题。
高级温控(状态监视)方案
通过可视化的设备状态监视,实现细微化工艺段的稳定生产
课 题
随着半导体微细化 / 积层化,生产流程的精度与日俱增,对设备环境的变化也越来越敏感。然而,目前很难根据产品生产过程中出现的品质问题捕捉现象,对于生产周期较长的半导体生产流程而言,保障产品品质稳定成为一大课题。
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高级温控(小型多点控制)方案
细微化工艺段中的多点化温控,有助于提升品质和生产效率
课 题
为实现高度数字化的社会,对半导体微细化/积层化的需求日益高涨,其生产流程也随之逐渐复杂,因此温度控制的重要性与日俱增。尤其是为了提高加工精度,需要实现更加精细的温度控制。即使细微的温度偏差和波动也会影响品质,因此必须详细掌握温度变化。
此外,随着设备性能提高,必须增加控制点数,另一方面,还必须满足维持产能和减少设备占地面积的需求,在保障品质的同时缩减尺寸成为一大课题。
高级温度控制方案
精细控制工序的温度,同时兼顾品质与产能
课 题
随着半导体的微细化、积层化和二次电池的高容量化等,温度控制的重要性与日俱增。为了提高加工精度,需要对温度进行更加精细的控制,调整温度要花费大量时间,即使是细微的温度偏差和波动也会影响品质。
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