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我院多项成果亮相首届计量仪器装备展,获央视总台关注报道
近日,由中国计量协会主办,上海市计量协会、江苏省仪器仪表学会联合主办的首届计量仪器装备展(2024)(以下简称“计量展”)在苏州国际博览中心顺利举行。本届展会以“计量支撑新质生产力”为主题,展出总面积达到1万平方米,吸引了近300家国家产业计量测试中心、计量技术机构及国内外高端仪器仪表企业参展,展出了1500余类计量新产品、新装备与新技术。同济大学物理科学与工程学院的多项创新成果也在展会上亮相,吸引了广泛关注。
在此次计量展中,我院集中展示了直接溯源型纳米长度和角度标准物质(已获批5项国家一级标准物质)、晶圆级标准片、直接溯源型光栅干涉仪及计量型原子力显微镜等多项研究成果。学院自主研制的直接溯源长度标准物质准确度达到0.001 nm量级(相当于头发丝的六千万分之一),正交角度标准物质准确性达到0.001°量级(相当于把蛋糕按扇形均分成三十六万份),这其中就包括了我国首个纳米角度标准物质。在直接溯源型光栅的基础上,我院研究团队还发明了具有直接溯源特性及良好鲁棒性的光栅干涉仪,能够实现亚纳米级精度位移测量。
据悉,今年5月,同济大学被国家市场监督管理总局遴选为首批原子显微镜与电子显微镜等高端仪器的计量测试评价机构。展会期间,我院的创新成果吸引了众多参展嘉宾的广泛兴趣并获得了中央电视总台的特别报道。
近年来,同济大学物理科学与工程学院在纳米计量与测试领域取得了显著进展。我院在直接溯源型标准物质的种类及精确度方面实现了突破,并且自主研发了高精度计量装置及晶圆级标准片,有望为我国先导产业微纳检测设备产业提供重要支撑。
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