变面积型电容传感器 2011-06-18 15:41:42来源:互联网
变面积型电容传感器中，平板形结构对极距变化特别敏感，测量精度受到影响。而圆柱形结构受极板径向变化的影响很小，成为实际中最常采用的结构，其中线位移单组式的电容量C在忽略边缘效应时为

l—外圆筒与内圆柱覆盖部分的长度；
r2、r1 —圆筒内半径和内圆柱外半径。
当两圆筒相对移动Δl时，电容变化量ΔC为