来源：网络 2012-9-14 关键词：工业自动化 压力传感器 温度控制系统　　O 引言　　在微电子器件领域，针对SiC器件的研究较多，已经取得了较大进展，而在MEMS领域针对SiC器件的研究仍有许多问题亟待解决。在国内，SiC MEMS的研究非常少，因而进行SiC高温MEMS压力传感器的研究具有开创意义。碳化硅(SiC)具有优良的耐高温，抗腐蚀，抗辐射性能，因而使用SiC来制