摘要：本文主要描述了台达电源在光刻机上的良好应用。光刻机由于严格的使用环境及对电源性能的特殊要求，使电源的选择显得非常慎重。光刻机在使用台达电源后，完全达到了设备的设计要求，也将台达电源优异功能展现得淋漓尽致。 　　关键字：台达 导轨式 电源 光刻机　　引言：在电子行业高速发展的今天，工业设备的精密度不断得到提高，与此同时最终用户对产品本身的性能也提到了新的高度，这就给设备厂家在元器件选择方面提出了更高的要求。而在电源的使用上目前工业设备在低压电源方面使用上有平板和导轨两种安装方式，而两种不同的安装方式也对应不同的性能指标。导轨式电源优异的性能，与生具来的导轨紧凑式安装方式，也越来越得到各个设备厂家的青睐！台达导轨式电源也应运而生，满足了广大用户的要求。　　一、光刻机设备介绍　　　激光标刻机的核心部件是YLM系列单模连续波段掺镱光纤激光模块，主要为免维护的OEM应用面设计。YLM二极管泵浦光纤激光通过一条带有金属护套的单模光纤传导光束直径为1.07微米，接近衍射极限（M2＜1.05）高质量激光束，高可靠性的直流电源在SCAPS公司专用控制卡的控制下驱动单模连续波段掺镱光纤激光模块、单模连续波段掺镱光纤激光模块发出的970±10nm的激光被耦合到加金属护套的5mm传输光纤中使掺镱双包层光纤中产生1.06微米波长的激光，激光在传输过程中不断被放大后扩束输出。扩束后的激光束投射到振镜扫描器上，通过计算机控制振镜快速转动及激光的开关，使激光束在X、Y方向扫描，通过F-θ透镜聚集形成几微米直径的光斑作用于加工工件上，使之表面瞬间烧蚀，最后在件表面形成需要的各种图形符号。　　1、整机结构紧凑，占用空间小，与进口贴片分选设备充分兼容，接口直接配合、简单易用。　　2、基础配置，采用进口Fiber（光纤）小功率风冷激光器，高速振镜扫描系统，打印准确精致。　　3、激光打印系统控制核心，Laser Marking System购筑在Windows XP平台上，控制软件采用SCAPS软件，控制卡采用高速USB2.0控制输入，性能卓越稳定，使用操作简便，并可根据客户的需求，随时升级程序。　　4、根据客户需求，可实现脱机运行操控，一台电脑主机操作多台激光打印终端，标刻终端由PDA操控。　　5、国内首创，更小巧，更灵活。　　　6、直接编辑印章和同时打印多种规格印章，自动记数功能，随意设置标刻数量及统计所标记管子总数，设置数值高达十亿位数。　　　　　　　　　　　　

　　　　　　　　　　　　　光刻机图片　　　　　　　　　　　　　

　　光刻机雕刻样品图片　　二、台达电源在光刻机上成功应用 　　1、电压要求 光刻设备工作电压为直流28V，台达最大输出直流电压为28V，完全符合使用要求。 　　2、使用方式要求 需要有正负28V电源输出，第一个电源正端与第二个电源的负端共地使用，而且两个输出相互之间不能互扰。　　　　　　　　

　　3、电源体积要求 　　由于设备整机结构紧凑，占用空间小的要求，所以要求电源等各种元器件能够尽量的小巧，不占用更多的空间。台达电源采用导轨式，呈扁平型，尺寸为：126x32x113，安装占用空间非常小，得到设备厂家和最终用户的一致认可。 　　 4、电源稳定度要求 　　由于光刻机激光光束需要高可靠性的直流电源，所以在电源的稳定性和纹波上要求非常严格。台达电源直流输出电压残余波< 50 MV，波峰切换(20MHZ) (在正常值) < 240 MVPP，体现了良好的输出特性。 　　5、电磁干扰　　由于激光雕刻机是一个精密的设备，其电压的好坏直接影响激光的稳定程度，也就直接影响光刻效果，所以其电磁防护等级要求也非常高。不仅自己不能够被外界电磁干扰，以免输出电压精度不高，同时自身也不能够产生干扰，以免干扰其他设备的正常工作。台达电源通过了EMC及防干扰认证，很好的保证了现场使用的要求。　　综上所述，虽然光刻机设备对电源的使用提出了十分高的要求，但是台达电源以优越的性能很好的解决了实际过程中遇到的各种难题，把各种任务完成得非常的漂亮，由于完美的表现也赢得了客户的一片赞誉！当然，良好的表现源于良好的硬件功夫，台达电源有此卓越的表现，也是源于台达电源有很多优异的硬件指标参数和特点，下面列出了台达的基本参数及特点。　　三、台达导轨式基本参数及特点　　1、基本参数　　过载保护:有　　过压保护:有　　过热保护:有　　功率提升:提升到150%可持续1秒　　MTBF:>300K小时　　预期寿命:10年　　输出保持时间:>20ms(115V,满载)　　冗余:有　　保质期:3年　　输入规格:　　　输入电压范围:90~264V　　输入频率:47~63HZ　　最大输入电流:1.7A(230V)　　效率:>86%　　功率因数:EN61000-3-2 STD.　　最大冲击电流:<50A(230V)　　漏流:<1mA(240V)　　输出规格:　　　输出电压范围:22~28V　　波纹噪声电压:<240mV(85~264V输入)　　输出电流:2.5A　　输入变动:<0.5%(85~264V输入，满载)　　负载变动:<1%(额定输入，0~满载)　　机械设计:　　　噪音:<40dBA　　尺寸:126×32×113mm(L×W×H)　　冷却:空气对流　　输入端:M4*3　　输出端:M4*2　　底托横档:TS35标准　　耐冲击:IEC 60068-2-27　　抗振:IEC 60068-2-6　　防护结构:EN60950 (根据IP20)　　安全:　　　EMC放射性:B级／EN55022;CISPR22,B级;FCC TITLE 47;EN1204-3(B级[AC]和A级[DC])免疫力:EN61000-4-2,1995; EN61000-4-3,1998; EN61000-4-4,1995; IEC61000-4-5,1995; EN61000-4-6,1996; IEC61000-4-12或 IEEE C62.41; EN61000-3-3,1994认证:UL508,EN60950,CULUS60950,EN50178,EN60204,GS　　　电压暂降:EN61000-4-11　　耐压:输入到输出:3KV;输入到地:1.5KV;输出到地:500V　　　　产品环境条件:　　　工作温度:"-20~+70度"　　保存温度:"-25~+85度"　　工作湿度:<95%　　2、特点　　全球适用 AC输入电源　　保护特性：短路／过载／过压／内部电涌　　空气冷却　　可安装 DIN 标准导轨 TS-35/7.5或15 　　绝缘等级 I　　高效率 >86%　　100%满负荷烧机测试　　连接器方向设定易于识别输入和输出连接器　　连接器类型方便连接电缆和易维修　　全铝合金 (AL5052) 或塑料外壳符合IEC60068-2 规格。　　经得起高冲击和震动环境。　　高附加价值（高功能与价格比例）　　国际安全标准认证　　符合RoHS规格　　易安装　　三年保质期　　四、结束语 　　国内市场电子设备行业的飞速发展，以及技术不断的洗旧革新，无非是要提高设备的效率与稳定性，设备的稳定性源于高可靠性的器件。而设备供电电源是设备非常重要的一个环节，因而对电源的性能势必提出了更高的要求。如宽输入出电压范围，良好的保护功能等等功能需求会显得越来越迫切，台达低压电源源于台达集团优秀的电源技术开发能力、优异的品质与良好的电源世界第一品牌形象，响应了市场日异变化的需求，抓住了市场商机，也使得用户在电源的选择上更加能够得心应手，推陈出新！台达电源，真是在方寸之间彰显精彩！