日本KOFLOC流量计KOFLOC自1949年作为小岛制作所创业以来，约60年间，专门致力于研究开发流体(气体、液体）的 微少流量计测、控制技术。其间，公司的技术由模拟向数码发展，机械走向电动持续发展。 KOFLOC主要生产浮子流量计、流体控制阀、电子式流量计、各种流体控制装置、氮气・氧气・臭氧等气体发生装置，燃料电池装置、除臭装置、水处理装置、医疗器械等。c质量流量计/控制器MFC/MFM等有精度，重复性，反应速度，甚至价格也有要求。它适合半导体，光缆，分析仪器，燃料电池，液晶屏，有机EL,生物工程，食品，环境测试，燃烧气体控制，工程设备，试验设备等各个环节，各个制造过程。他所用的传感器是热式流量传感器，热式质量流量计（以下简称TME）是利用传热原理，即流动中的流体与热源（流体中加热的物体或测量管外加热体）之间热量交换关系来测量流量的仪表。标准 质量流量控制器型号3660系列 型号3660系列质量流量控制器设计精密，成本较低。广泛用于不同的领域，从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置的标准采用机种，发挥了很好的实际效果。各种衍生的型号和附属品可选。 特点□通过采用改良型恒定电流温度差检测方式流量传感器，实现快速回应。□通用的常闭型阀门确保了安全□使用电磁执行器保证了高效的可靠性□低差压类型控制适用于燃烧的气体（LP可选）技术指标F.S.量程(N2换算) 10SCCM-20SLM(30SLM-100SLM)阀门种类 常闭电磁阀控制范围应答性精度重复性 2%-100%F.S.（5%-100%F.S.） 设定±2%F.S.至2秒以内（标准） ±1.5%F.S.以内（±2%F.S.以内） ±0.5%F.S.以内压力 耐压 980kPa 操作差压 F.S.≤5SLM 49kPa-294kPa；5
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