来源：网络 2012-8-18 关键词：工业自动化 移动设备 MEMS 传感器　　整合三轴加速度计与三轴陀螺仪的六轴MEMS器件如雨后春笋般，正快速普及移动设备市场。诸如意法半导体(ST)、应美盛(InvenSense)与博世(BoschSensortec)等公司，皆纷纷迈向多轴设计趋势，竞相推出六轴MEMS组合传感器，期待以高集成度、高效能、低成本、小体积等优势扩大MEMS市场商机。