来源：网络 2012-8-18 关键词：工业自动化 传感技术 压力传感器　　在压力传感器的微细加工技术中要求在样品背面的掩膜上光刻出压力腔窗口的图形而且与正面图形严格对准。待别是在设计时必须将力敏电阻安排在膜内;有时离开膜边的距离仅为30P”。正反图形错开时，力敏电阻条对压力灵敏度响应便不对称，甚至有时有可能移到膜外，对压力便无响应。这种错位既可以有平移错动，也可以有角度错开。一般要求