来源：网络 2012-9-23 关键词：工业自动化 传感器系统 控制系统 传感器　　近日，重庆川仪自动化股份有限公司承担在“863”计划课题“过程控制硅压力传感器及系统”顺利通过科技部验收。　　项目组攻克了过程控制硅压力传感器及系统的技术设计、关键部件开发、制造工艺、装备等关键技术问题，实现了覆盖全量程范围的过程控制硅压力传感器芯片的设计、模型建立和芯片流片的制造;提出了以消压