【国内首个“IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台”顺利通过验收】长期以来我国IC设备生产企业普遍面临关键零部件采购成本高等问题。沈阳IC装备产业园联合沈阳自动化所等单位，围绕IC设备金属类零部件高效精密加工等8个课题展开技术攻关与平台建设，突破了一系列技术难题。