MEMS压力传感器综合性能分析
来源：网络 2012-9-2 关键词：工业自动化 压力传感器 传感技术 MEMS压力传感器是基于 MEMS(微机电)技术，建立在微米/纳米基础上，在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥组成的硅应变计，这样制造的压力传感器具有输出灵敏度高，性能稳定，批量可靠性、重复性好等优点。下面从传感器的制作工艺、结构两方面分析一下MEMS压力传感器综合性能。 先进的制作工艺 经500℃
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