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  • 白皮书 | TERPS助力半导体行业真空压力测量
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    德鲁克Druck推出的TERPS(Trench Etched Resonant Pressure Sensor)技术基于单晶硅谐振原理,通过MEMS工艺将谐振式压力传感器的小型化、批量化与高精度结合起来

    2025-03-25 15:01:11

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    2024-04-23 13:20:10