MEMS机油压力传感器
-
- MEMS机油压力传感器可靠性研究
-
来源：网络时间：2012-07-10关键词：MEMS机油压力传感器信号漂移 引言 MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新技术，用MEMS技术研制的压力传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产
2012-07-10 15:43:03
