MEMS压力传感器
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- MEMS压力传感器综合性能分析
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来源：网络2012-9-2关键词：工业自动化压力传感器传感技术 MEMS压力传感器是基于MEMS(微机电)技术，建立在微米 纳米基础上，在单晶硅片上刻融制作惠斯登电桥组成的硅应变计，这样制造的压力传感器具有输出灵敏度高，性能稳定，批量可靠性、
2012-09-02 11:52:39
