TERPS技术
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- 白皮书 | TERPS助力半导体行业真空压力测量
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德鲁克Druck推出的TERPS（Trench Etched Resonant Pressure Sensor）技术基于单晶硅谐振原理，通过MEMS工艺将谐振式压力传感器的小型化、批量化与高精度结合起来
2025-03-25 15:01:11
