微位移传感器
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- 基于PSD的微位移传感器建模的实现方法
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来源:网络2012-8-4关键词:自动化PSD微位移传感器建模 摘要:为了正确反映基于光电位置敏感器(PSD)的微位移传感器的特性,首先介绍了一维光电位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD结合光学三角测量法将位移信号转换成电压信号的工作原理,
2012-08-04 12:21:18