压力传感器的温度控制系统设计
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- 基于压力传感器的温度控制系统设计
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来源:网络2012-9-14关键词:工业自动化压力传感器温度控制系统 O引言 在微电子器件领域,针对SiC器件的研究较多,已经取得了较大进展,而在MEMS领域针对SiC器件的研究仍有许多问题亟待解决。在国内,SiCMEMS的研究非常少,因而进行SiC高
2012-09-14 11:52:12